Российские учёные продемонстрировали эффективность ионной имплантации полупроводников без отжига

Учёные из НИФТИ ННГУ совместно с коллегами из Красноярского института физики им. Л.В. Киренского СО РАН и Сибирского федерального университета продемонстрировали, что ионная имплантация полупроводниковых материалов может быть эффективной без последующего отжига. Результат исследования открывает новые технологические возможности для современной микроэлектроники. Ионная имплантация — облучение пучками ускоренных ионов поверхности материалов, которое позволяет сформировать у них заданные свойства. Легирование полупроводников […]

#разное #химияфизикаисследованияматерии #новыематериалы #россия #lang_ru #ru #22centuryru #22century #хх2век #xx2век #наукаитехника